在当前半导体产业国产替代的大背景下,上海有众多核心企业在半导体设备与材料领域积极参与这一进程,它们都有哪些呢?
设备领域
- 中微公司:专注于半导体设备的研发、生产和销售。其等离子体刻蚀设备在集成电路制造领域具有重要地位,打破了国外企业在该领域的长期垄断,帮助国内芯片制造企业降低对进口设备的依赖。
- 上海微电子装备(集团)股份有限公司:国内光刻设备的龙头企业。光刻设备是芯片制造的关键设备之一,上海微电子的产品在中低端光刻市场有较高的市场份额,为国内芯片制造提供了重要的设备支持。
- 盛美半导体设备(上海)股份有限公司:在半导体清洗设备方面表现出色。其自主研发的清洗设备具有高效、低损伤等特点,能满足不同芯片制造工艺的需求,推动了半导体清洗设备的国产化。
材料领域
- 上海新阳半导体材料股份有限公司:提供多种半导体材料,如电镀液、清洗液等。这些材料在芯片制造过程中起着关键作用,上海新阳的产品质量和性能不断提升,逐步替代进口材料。
- 上海硅产业集团股份有限公司:是国内规模最大的半导体硅片制造企业之一。硅片是半导体制造的基础材料,上海硅产业集团生产的大尺寸硅片打破了国外的技术封锁和市场垄断,保障了国内半导体产业的材料供应。
以上只是上海半导体设备与材料领域参与国产替代进程的部分核心企业,它们的发展和创新对于推动我国半导体产业的自主可控具有重要意义。